MEMS傳感器是采用微機械加工技術制造的新型傳感器，是MEMS器件的一個重要分支。1962年，第一個硅微型壓力傳感器的問世開創了MEMS技術的先河，MEMS技術的進步和發展促進了傳感器性能的提升。作為MEMS技術最重要的組成部分，MEMS傳感器發展最快，一直受到各發達國家的廣泛重視。美、日、英、俄等國將MEMS傳感器技術作為戰略性的研究領域之一，紛紛制訂發展計劃并投入巨資進行專項研究。

　　隨著微電子技術、集成電路技術和加工工藝的發展，MEMS傳感器憑借體積小、質量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成，以及耐惡劣工作環境等優勢，極大地促進了傳感器向微型化、智能化、多功能化和網絡化發展。MEMS傳感器正逐步占據傳感器市場，并逐漸取代傳統機械傳感器的主導地位，已得到消費電子產品、汽車工業、航空航天、機械、化工及醫藥等各領域的青睞。

　　MEMS的定義

　　微機電系統（Micro Electro Mechanical System，MEMS）是集多個微機構、微傳感器、微執行器、信號處理、控制電路、通信接口及電源于一體的微型電子機械系統。有人將用于通信、多媒體、網絡和智能等領域中的MEMS技術稱為信息MEMS技術，形成了光MEMS（MOEM）技術和射頻微波無線電通信系統中的MEMS（RFMEMS）技術。

　　MEMS傳感器分類及典型應用

　　MEMS傳感器的門類品種繁多，分類方法也很多：按其工作原理的不同，可分為物理型、化學型和生物型三類；按照被測量的不同，又可分為加速度、角速度、壓力、位移、流量、電量、磁場、紅外、溫度、氣體成分、濕度、pH值、離子濃度、生物濃度及觸覺等類型的傳感器。

　　每種MEMS傳感器又有很多細分方法。例如，微加速度計，按檢測量的運動方式劃分，有角振動式加速度計；按檢測量支承方式劃分，有扭擺式、懸臂梁式和彈簧支撐方式；按信號檢測方式劃分，有電容式、電阻式和隧道電流式；按控制方式劃分，有開環式和閉環式。

　　MEMS傳感器不僅種類繁多，而且用戶廣泛。作為獲取信息的關鍵部分，MEMS傳感器對各種傳感裝備微型化的發展起著巨大的推動作用，已在太空衛星、運載火箭、航空航天設備、飛機、各種車輛、生物醫學及消費電子產品等領域中得到了廣泛的應用。制造技術的日益精進使MEMS傳感器的參數指標和性能得到不斷提高，與多種學科的交叉融合又使傳感器不斷推陳出新，應用領域不斷拓寬。

應用領域	產品或系統	所有MEMS傳感器示例
消費電子	手機、數碼相機和筆記本電腦等	加速度計、陀螺儀、慣性測量組合（IMU）等
汽車工業	汽車安全系統、制動防抱死系統（ABS）、發動機系統和動力系統等	壓力傳感器、加速度計、微陀螺儀、化學傳感器、氣體傳感器和指紋識別傳感器等
航空航天、空間應用	微型慣性導航系統、空間姿態測定系統、動力和推進系統、控制和監視系統、微型衛星等	加速度計、陀螺儀、壓力傳感器、慣性測量組合（IMU）、微型太陽合地球傳感器、磁強計合化學傳感器等
生物醫學保健	臨床化驗系統、診斷和健康檢測系統、靈巧藥丸輸送系統、心臟起搏器和計步器等	生物傳感器、壓力傳感器、集成加速度傳感器和微流體傳感器等
機器人	飛行類機器人的姿態控制等	加速度計、陀螺儀和慣性測量組合等
傳感網	基于MEMS的環境監測系統等	壓力、溫度、濕度、生物、氣體和氣流等多種傳感器

　　MEMS傳感器的典型應用